[发明专利]一种碳化硅单晶生长装置在审
| 申请号： | 201910328574.4 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN109913951A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周正星;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅单晶生长装置，包括工作腔体、可升降的穿设于工作腔体中的连接杆、用于驱动连接杆升降的第一驱动机构、设于工作腔体中的坩埚和用于为坩埚加热的加热机构；坩埚包括固设于连接杆底部的坩埚盖、可拆卸的连接在坩埚盖下方的坩埚本体；连接杆包括杆本体、开设于杆本体上的用于通入通出冷媒的第一通道、开设于杆本体上的用于通入工艺气体的第二通道；第一通道与第二通道相互隔断，第二通道与工作腔体连通；连接杆用于通过冷媒和/或工艺气体为坩埚盖降温；工作腔体还包括出气口。本发明一种碳化硅单晶生长装置，优化了热传导路径，使热量只通过坩埚盖传输，更易实现下高上低的温度场要求，提高了碳化硅单晶的生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 工作腔体 碳化硅单晶 连接杆 坩埚盖 生长装置 杆本体 坩埚 工艺气体 冷媒 第一驱动机构 驱动连接杆 热传导路径 加热机构 可拆卸的 坩埚本体 出气口 可升降 温度场 穿设 隔断 固设 加热 连通 升降 传输 生长 优化 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅单晶生长装置，其特征在于：包括工作腔体、可升降的穿设于所述工作腔体中的连接杆、用于驱动所述连接杆升降的第一驱动机构、设于所述工作腔体中的坩埚和用于为所述坩埚加热的加热机构；所述坩埚包括固设于所述连接杆底部的坩埚盖、可拆卸的连接在所述坩埚盖下方的坩埚本体；所述连接杆包括杆本体、开设于所述杆本体上的用于通入通出冷媒的第一通道、开设于所述杆本体上的用于通入工艺气体的第二通道；所述第一通道与所述第二通道相互隔断，所述第二通道与所述工作腔体连通；所述连接杆，用于通过所述冷媒和/或所述工艺气体为所述坩埚盖降温；所述工作腔体还包括出气口。
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