[发明专利]一种正交相Ⅲ-Ⅵ族异质结光催化材料及其化学气相沉积方法在审
申请号: | 201910329955.4 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN109999849A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 温翠莲;张致远;张竹海;萨百晟;贺啸俊;蔡书畅 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | B01J27/057 | 分类号: | B01J27/057;B01J37/08 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊;林文弘 |
地址: | 350002 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种正交相Ⅲ‑Ⅵ族异质结光催化材料及制备方法,在氢气和氩气载气下,利用低压化学气相沉积法,在高温退火银箔的基底上合成正交相Ⅲ‑Ⅵ族InSe/InS、InSe/GaS、InSe/GaSe、InS/GaSe、InS/GaS或GaSe/GaS异质结。该方法制备工艺简单,产品纯度较高,所制备的正交相Ⅲ‑Ⅵ族异质结有望应用于光催化材料领域。 | ||
搜索关键词: | 异质结 正交相 光催化材料 制备 低压化学气相沉积 化学气相沉积 氩气 产品纯度 高温退火 制备工艺 氢气 基底 银箔 载气 合成 应用 | ||
【主权项】:
1.一种正交相Ⅲ‑Ⅵ族异质结光催化材料的化学气相沉积方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:(1) 将反应源S源和Se源中的任意一种以及In源和Ga源中的任意一种按质量比1:2‑4混合放置于双温区高温管式炉A中;将反应源S源和Se源中的任意一种以及In源和Ga源中的任意一种按质量比1:2‑5混合放置于双温区高温管式炉B中,将预处理后的银箔基底放置于单温区高温管式炉C中;(2) 将反应腔的真空度抽至6.65KPa,打开阀门,通入氢气和氩气对高温管式炉的反应腔进行清洗;(3) 同时加热两个双温区高温管式炉至反应源气相状态,在银箔基底区域同时升温至650‑670℃,旋转阀门连通A和C,持续通入载气,反应10‑20分钟,反应生成物沉积于银箔基底上,旋转阀门连通B和C,持续通入惰性气体,保持10‑20分钟;(4) 自然冷却至室温后同时关闭氢气和氩气,即可在基底上得到异质结薄层样品。
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