[发明专利]等离子体处理装置和电源控制方法在审
| 申请号： | 201910332392.4 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110416051A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 永海幸一;大下辰郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法。本发明能够抑制在载置台与被处理体之间发生放电。等离子体处理装置包括：载置台，其载置作为等离子体处理的对象的被处理体，并作为下部电极发挥作用；直流电源，其交替地产生施加到载置台的正直流电压和负直流电压；测量载置于载置台的被处理体的电压的测量部；计算部，其基于测量出的被处理体的电压，计算将负直流电压施加到载置台的期间的、载置台与被处理体之间的电位差；和电源控制部，其控制直流电源，以使得施加到载置台的负直流电压的值的电位差变化使计算出的电位差减少的变化量。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 被处理体 等离子体处理装置 负直流电压 电位差 等离子体处理 测量 施加 控制直流电源 电位差变化 电源控制部 正直流电压 电源控制 下部电极 直流电源 变化量 计算部 放电 载置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：载置台，其载置作为等离子体处理的对象的被处理体，并作为下部电极发挥作用；直流电源，其交替地产生施加到所述载置台的正直流电压和负直流电压；测量载置于所述载置台的被处理体的电压的测量部；计算部，其基于所述测量出的被处理体的电压，计算对所述载置台施加负直流电压的期间的、所述载置台与所述被处理体之间的电位差；和电源控制部，其控制所述直流电源，以使得施加到所述载置台的负直流电压的值变化使所述计算出的电位差减少的变化量。
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