[发明专利]具有挡光层的非等平面AlGaN基肖特基型紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有挡光层的非等平面AlGaN基肖特基型紫外探测器，包括依次设置的蓝宝石衬底、缓冲层、阻挡层、掺杂层、过渡层，过渡层上设有吸收层，在吸收层上刻蚀出双台面结构，在吸收层及双台面结构上沉积钝化层，在钝化层上开窗口，窗口处设置欧姆接触层、肖特基接触层，在器件表面依次设置绝缘层a、挡光层和绝缘层b，并且开孔使欧姆接触层和肖特基接触层露出。并公开了其制备方法。本发明在缓冲层上沉积AlGaN层作为阻挡层，实现器件对具体波长范围为250‑280nm的光信号的响应；在阻挡层上沉积一层过渡层，降低了器件体内的晶格失配，可以减小器件暗电流；在器件最上层设计绝缘层a/挡光层/绝缘层b的结构，可提高器件的响应度。

主权项

1.一种具有挡光层的非等平面AlGaN基肖特基型紫外探测器，包括依次设置的蓝宝石衬底(1)、缓冲层(2)、阻挡层(3)、掺杂层(4)、过渡层(5)，在过渡层(5)上设有吸收层(6)，在吸收层(6)上刻蚀出双台面结构，刻蚀到掺杂层(4)，在吸收层(6)及双台面结构上沉积钝化层(9)，在钝化层(9)上开窗口，在深至掺杂层(4)的窗口处设置欧姆接触层(7)，在吸收层(6)的窗口处设置肖特基接触层(8)，在器件表面依次设置绝缘层a(10)、挡光层(11)和绝缘层b(12)，并且开孔使欧姆接触层(7)和肖特基接触层(8)露出。