[发明专利]干涉信号的相位校正方法在审
| 申请号： | 201910337335.5 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110411368A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 小野田有吾;佐藤荣广;长谷川晶一;柳川香织;石桥清隆 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时，对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中，从光源对测定对象物照射测定介质，取得呈现周期函数的干涉信号，针对干涉信号在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行干涉信号的相位校正。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉信号 相位校正 相位偏移 周期函数 采样点 测定对象物 物理现象 采样 计测 光源 校正 照射 | ||
【主权项】：
1.一种干涉信号的相位校正方法，其中，对测定对象物照射测定介质，取得具有周期函数的干涉信号，针对所述干涉信号，在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行所述干涉信号的相位校正。
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