[发明专利]一种基于微环结构的接触型线性应力传感器及其应力检测方法在审
| 申请号： | 201910338426.0 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110017926A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 尹锐;卢文朔;季伟 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 许德山 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于微环结构的接触型线性应力传感器及其应力检测方法，包括依次连接的宽谱光源、微环谐振腔、频谱分析仪；微环谐振腔从下至上依次包括基底、下限制层、信道直波导和微环波导、上限制层；信道直波导和微环波导所在区域为折射率敏感区域；当信号光从信道直波导左端口输入后，在邻近微环谐振腔时发生相互耦合，使信道输入的部分光功率不断地耦合进入微环谐振腔中，同时微环谐振腔中的部分光功率也不断地耦合进入信道直波导中，并由信道直波导的右端口输出。本发明巧妙利用微环波导对波长敏感的分波特性，经信道直波导右端输出后，不同微环波导芯层有效折射率对应不同中心波长，实现器件的应力检测的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 直波导 微环 微环谐振腔 信道 应力检测 耦合 波导 应力传感器 光功率 接触型 频谱分析仪 有效折射率 波导芯层 宽谱光源 敏感区域 上限制层 所在区域 下限制层 信道输入 依次连接 中心波长 输出 信号光 右端口 折射率 左端口 波长 分波 基底 邻近 敏感 | ||
【主权项】：
1.一种基于微环结构的接触型线性应力传感器，其特征在于，包括依次连接的宽谱光源、微环谐振腔、频谱分析仪；所述微环谐振腔从下至上依次包括基底、下限制层、信道直波导和微环波导、上限制层；所述信道直波导和微环波导所在区域为折射率敏感区域，即应力接触检测区；当信号光从信道直波导左端口输入后，在邻近微环谐振腔时发生相互耦合，使信道输入的部分光功率不断地耦合进入微环谐振腔中，同时微环谐振腔中的部分光功率也不断地耦合进入信道直波导中，并由信道直波导的右端口输出。
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