[发明专利]控制方法及真空系统在审
| 申请号： | 201910338435.X | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111749879A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 邵柏森;吕永杰 | 申请（专利权）人： | 亚台富士精机股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B49/20 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制方法及真空系统。真空系统包括抽气模块、控制模块以及感测模块，且抽气模块连接于腔体。控制方法包括控制模块驱动抽气模块以第一定转速对腔体进行抽气，感测模块侦测腔体的第一压力值，并将第一压力值传递至控制模块，控制模块判断第一压力值是否大于预定压力值，当第一压力值大于预定压力值时，控制模块控制抽气模块维持第一定转速；当第一压力值小于预定压力值时，控制模块驱动抽气模块以可变转速对腔体进行抽气，感测模块侦测腔体的第二压力值，并将第二压力值传递至控制模块，以及控制模块根据第二压力值调整可变转速。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 真空 系统 | ||
【主权项】：
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