[发明专利]波面干涉仪及其校正方法有效
| 申请号： | 201910338910.3 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109974577B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 郭柏均 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种波面干涉仪及其校正方法，其中波面干涉仪的校正方法包括：在被测物与光源之间设置一校正透镜，用于抵消入射光穿过被测物后引起的角度变化量；在所述校正透镜上设置一校正记号；测量撷取影像中所述校正记号的实际投影长度，将所述实际投影长度与所述理论投影长度对比，得到差值；根据所述差值校正所述被测物与所述被测物的投影之间的实际比例。该波面干涉仪及其校正方法通过增加一个带校正记号的校正透镜，即可达到对波面干涉仪的校正效果，不仅操作方便，还能减少其校正误差。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 及其 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波面干涉仪的校正方法，其特征在于，包括：在被测物与光源之间设置一校正透镜，用于抵消入射光穿过被测物时引起的角度变化量；在所述校正透镜上设置一校正记号；测量撷取影像中所述校正记号的实际投影长度，将所述实际投影长度与理论投影长度对比，得到差值；根据所述差值校正所述被测物与所述被测物的投影之间的实际比例。
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