[发明专利]一种支撑托盘和硅处理装置在审
| 申请号： | 201910339086.3 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109913940A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种支撑托盘和硅处理装置，支撑托盘用于支撑多瓣坩埚，所述支撑托盘上与所述多瓣坩埚上的缝隙相应的位置分别形成有凹槽，用于容纳从所述多瓣坩埚的缝隙流出的溶液。根据本发明的支撑托盘，能够用于支撑多瓣坩埚，通过在支撑托盘上与多瓣坩埚上的缝隙相应的位置分别形成有凹槽，解决了溶液从缝隙发生溢流后易于损伤其他结构部件的问题，能够通过凹槽来容纳从多瓣坩埚的缝隙流出的溶液，防止溶液的溢流，避免溶液对其他结构造成损坏，该支撑托盘结构简单，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑托盘 多瓣 坩埚 硅处理 溢流 流出 容纳 结构部件 支撑 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种支撑托盘，用于支撑多瓣坩埚，其特征在于，所述支撑托盘上与所述多瓣坩埚上的缝隙相应的位置分别形成有凹槽，用于容纳从所述多瓣坩埚的缝隙流出的溶液。
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