[发明专利]一种可高精度控制温域的升华提纯收集装置及纯化设备有效
| 申请号： | 201910339560.2 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110115854B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 马飞越;黄俊豪;杨琛;韦国丹;聂鹏博 | 申请（专利权）人： | 深圳普瑞材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;罗尹清 |
| 地址： | 518071 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的可高精度控制温域的升华提纯收集装置及纯化设备，包括腔体、多个收集台以及加热装置，腔体底部设有与收集台数量及尺寸匹配的开口，收集台通过所述开口与腔体密合连接；收集台的底部对应其顶部边缘的位置挖设一环形凹槽，凹槽环绕的收集台中心部位和腔体分别与加热装置连接，收集台的温度设置为低于目标材料的最低升华温度，腔体的温度设置为高于目标材料的最低升华温度。本发明的升华提纯收集装置腔体和收集台均由高导热材料制成，在收集台边缘部位的底部挖设凹槽使边缘处成为最大热阻处，能够实现在超短距离内腔体与收集台之间的温度骤变，温差降可达100 degC/mm；目标材料只能集中沉积在收集台表面，以便后续自动化收集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 控制 升华 提纯 收集 装置 纯化 设备 | ||
【主权项】：
1.一种可高精度控制温域的升华提纯收集装置，其特征在于，包括腔体、多个收集台以及加热装置，所述腔体底部设有与收集台数量及尺寸匹配的开口，所述收集台通过所述开口与所述腔体密合连接；所述收集台的底部对应其顶部边缘的位置挖设一环形凹槽，所述凹槽环绕的收集台中心部位和所述腔体分别与所述加热装置连接，所述收集台的温度设置为低于目标材料的最低升华温度，所述腔体的温度设置为高于目标材料的最低升华温度。
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