[发明专利]保持装置以及光学装置有效
申请号: | 201910341338.6 | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN110412835B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 新井学 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 李鹏宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供保持装置以及光学装置,即便在重力方向膨胀量相对水平方向膨胀量极小时,在相对温度变化的保持对象物定位精度方面也有利。保持装置具有结构体、保持部件、基座部件及支承部件,结构体包围物体,保持部件保持物体,基座部件设在结构体内壁,支承部件搭载在基座部件上并支承保持部件。在基座部件支承支承部件的面形成第1斜面,第1斜面相对于物体朝水平方向外侧高度变高,在支承部件支承保持部件的面形成第2斜面,第2斜面在支承部件搭载于第1斜面的状态下相对于物体朝水平方向外侧高度变高,支承部件能沿第1斜面滑动,保持部件能沿第2斜面滑动。保持装置通过支承部件及保持部件的滑动将物体的位置偏移维持在容许范围内。 | ||
搜索关键词: | 保持 装置 以及 光学 | ||
【主权项】:
1.一种保持装置,该保持装置保持物体,其特征在于,上述保持装置具有:结构体,该结构体包围上述物体;保持部件,该保持部件保持上述物体;基座部件,该基座部件设置在上述结构体的内壁;以及支承部件,该支承部件搭载在上述基座部件上并支承上述保持部件,在上述基座部件的支承上述支承部件的面形成有第1斜面,该第1斜面相对于上述物体朝水平方向的外侧高度变高,在上述支承部件的支承上述保持部件的面形成有第2斜面,该第2斜面在上述支承部件搭载于上述第1斜面的状态下相对于上述物体朝水平方向的外侧高度变高,上述支承部件能够沿着上述第1斜面滑动,上述保持部件能够沿着上述第2斜面滑动,通过上述支承部件以及上述保持部件的滑动将上述物体的位置偏移维持在容许范围内。
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