[发明专利]建模过程中的特征芯片选择方法以及器件模型建立方法在审
| 申请号： | 201910344208.8 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111859844A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 钱仕兵 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种建模过程中的特征芯片选择方法以及器件模型建立方法，所述特征芯片的选择方法包括：提供一建模测量用测试晶圆，所述测试晶圆上形成有多个芯片，每个芯片内形成有若干具有不同特征尺寸的至少一种器件；选择所述测试晶圆上若干芯片作为测试芯片，获得与多个具有特定特征尺寸的待测器件对应的多个测量值；选择所述多个测量值中数值位于中间位置或最接近平均值的测量值作为中间测量值；以所述中间测量值对应的待测器件所在的芯片作为具有该特定特征尺寸的待测器件的特征芯片。上述特征芯片的选择方法能够提高建模的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 建模 过程 中的 特征 芯片 选择 方法 以及 器件 模型 建立 | ||
【主权项】：
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