[发明专利]用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法在审
申请号: | 201910347790.3 | 申请日: | 2019-04-28 |
公开(公告)号: | CN110004490A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 吴胜登;祝明敏;何晓春;何晓东 | 申请(专利权)人: | 浙江启瑞电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江省衢州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及金属硅冶炉上料技术领域,尤其涉及用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法,解决了现有技术中存在的金属硅冶炉一次性上料后,无法满足达到最大投料量,导致坩埚使用效率低下,产品成品率低的缺点,包括炉体及设置于炉体内部的石英坩埚,该石英坩埚的内部放置有硅料,且炉体的顶部设置有氩气进管,所述石英坩埚的底部设置有TC2传感器,且炉体的顶部一侧设置有TC1传感器,所述氩气进管的顶部设置有红外传感器GW,本发明在多晶铸锭炉中,采用边熔化边加料的新工艺,通过自投研发的推料器自动控制并安全可靠的完成整个加料过程,投料量可以完成到最大投料量。 | ||
搜索关键词: | 金属硅 石英坩埚 投料量 炉体 氩气 顶部设置 上料机构 加料 传感器 进管 上料 熔化 产品成品率 多晶铸锭炉 红外传感器 炉体内部 使用效率 推料器 新工艺 一次性 硅料 研发 自投 坩埚 | ||
【主权项】:
1.用于金属硅冶炉的持续上料机构,包括炉体(1)及设置于炉体(1)内部的石英坩埚(2),该石英坩埚(2)的内部放置有硅料(3),且炉体(1)的顶部设置有氩气进管(4),其特征在于,所述石英坩埚(2)的底部设置有TC2传感器(22),且炉体(1)的顶部一侧设置有TC1传感器(21),所述氩气进管(4)的顶部设置有红外传感器GW(41),且氩气进管(4)的一侧通过连通管设置有绞龙(71),该绞龙(71)的上方连通设置有推料器(6);所述推料器(6)的顶部设置有推转料电机(8),且推转料电机(8)的输出端键连接有转轴(81),该转轴(81)的外侧设置有轴套(82),且转轴(81)的底部设置有推转叶片(83),所述推料器(6)的顶部一侧开设有吸料口(61),且推料器(6)的顶部另一侧开设有下人孔(62)。
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