[发明专利]一种基于飞秒脉冲的多目标3D表面形貌测量方法有效
| 申请号： | 201910348067.7 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110260811B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 于连栋;陆洋;王婧;赵会宁;夏豪杰;李维诗 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于精密制造测量领域，公开一种基于飞秒脉冲的多目标3D表面形貌测量方法，包括如下步骤，1），构建飞秒激光扫频干涉多目标3D表面形貌测量装置，将飞秒激光振荡器的重复频率锁定到可扫频参考信号模块；其特征在于，2），使用单模长光纤和色散补偿光纤的不等臂组合模块，提高目标表面扫描速度；3），同光源波段转换及多目标表面形貌测量，采用不同光波段，使用干涉系统（是否为干涉仪），实现多目标表面不同脉冲的低相干干涉并采集干涉图；4）通过图像采集装置进行数据处理，实现多个目标的3D表面形貌轮廓重构。具有测量精度高、测量速度快、测量范围大的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 脉冲 多目标 表面 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于飞秒脉冲的多目标3D表面形貌测量方法，包括如下步骤，1），构建飞秒激光扫频干涉多目标3D表面形貌测量装置，将飞秒激光振荡器的重复频率锁定到可扫频参考信号模块；其特征在于，2），使用单模长光纤和色散补偿光纤的不等臂组合模块，提高目标表面扫描速度；3），同光源波段转换及多目标表面形貌测量，采用不同光波段，使用干涉系统，实现多目标表面不同脉冲的低相干干涉并采集干涉图；4）通过图像采集装置进行数据处理，实现多个目标的3D表面形貌轮廓重构。
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