[发明专利]一种超薄散热薄膜及其制备方法和应用有效
申请号: | 201910348619.4 | 申请日: | 2019-04-28 |
公开(公告)号: | CN110106466B | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 李永卿;王群;金鑫 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/08;C23C14/16;H05K7/20 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王文君;陈征 |
地址: | 100022 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种超薄散热薄膜及其制备方法和应用。所述超薄散热薄膜,包括金属基底层和热辐射层,所述热辐射层由包含65‑100wt%的CuO的原料形成,所述热辐射层的厚度为0.03‑3μm。本发明还提供了该超薄散热薄膜采用特定溅射方式的制备方法及其应用。本发明制备的超薄散热薄膜材料不仅尺寸小,超薄,同时散热效果好,而且具有很好的附着力,安全可靠,无污染,加工方便,组装方便,可贴敷于手机、电脑、通讯设备及其它电子产品需要散热的部分。 | ||
搜索关键词: | 一种 超薄 散热 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种超薄散热薄膜,包括金属基底层和热辐射层,其特征在于,所述热辐射层由包含65‑100wt%的CuO的原料形成,所述热辐射层的厚度为0.03‑3μm。
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