[发明专利]集驱动传感于一体的柔性智能器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201910348915.4 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110243867A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴化平;裘烨;孙申申;林森鹏;蒋坤鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01D5/12 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种集驱动传感于一体的柔性电子器件，由膜组件和铜线组成；膜组件由四层膜构成，从上至下分别为湿敏材料层、金电极薄膜、压电材料P(VDF‑TRFE)层、金电极薄膜层，各膜层之间相互连接紧密，其中金电极薄膜导电性能和延展性优异；铜线则用银胶粘于金电极薄膜上；电信号输出通过金电极薄膜和两个铜线实现，金电极薄膜通过电子束蒸发系统蒸镀在P(VDF‑TRFE)薄膜两表面，铜线通过银胶粘于金电极薄膜上，金电极和铜线接点关于膜组件中心对称。本发明还包括集驱动传感于一体的柔性电子器件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金电极 薄膜 铜线 膜组件 传感 柔性电子器件 驱动 电子束蒸发系统 延展性 电信号输出 湿敏材料层 从上至下 导电性能 连接紧密 压电材料 智能器件 中心对称 薄膜层 胶粘 膜层 银胶 用银 蒸镀 制造 | ||
【主权项】：
1.一种集驱动传感于一体的柔性电子器件，其特征在于：由膜组件和铜线组成；膜组件由四层膜构成，从上至下分别为湿敏材料层、金电极薄膜、压电材料P(VDF‑TRFE)层、金电极薄膜层，各膜层之间相互连接紧密，其中金电极薄膜导电性能和延展性优异；铜线则用银胶粘于金电极薄膜上；电信号输出通过金电极薄膜和两个铜线实现，金电极薄膜通过电子束蒸发系统蒸镀在P(VDF‑TRFE)薄膜两表面，铜线通过银胶粘于金电极薄膜上，金电极和铜线接点关于膜组件中心对称。
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