[发明专利]一种扫描电化学显微镜及其校正方法有效
| 申请号： | 201910350371.5 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110082568B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 包宇;刘振邦;王伟;马英明 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | G01Q60/60 | 分类号： | G01Q60/60;G01Q40/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈宏升;黄磊 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电化学显微镜，包括：三维滚珠丝杠扫描器、三维压电扫描器、导电探针、导电基底、工作平台和微控单元，所述三维滚珠丝杠扫描器包括X调节轴、Y调节轴和Z调节轴；X调节轴、Y调节轴和Z调节轴两两相互垂直设置，所述X调节轴设置在工作平台上，所述三维压电扫描器设置在Z调节轴的上，本方案的扫描电化学显微镜内部集成稳定性较高的滚珠丝杠扫描器、压电扫描器、导电探针、导电基底和微控单元，通过滚珠丝杠扫描器对压电扫描器的扫描范围和线性度进行校正，避免了使用精密距离测试仪器或标准样品，具有操作简便和成本较低的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电化学 显微镜 及其 校正 方法 | ||
【主权项】：
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