[发明专利]一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器

摘要

本发明公开了一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，涉及传感器领域；该传感器包括封装体以及位于封装体内的谐振组件，谐振组件由石英晶体制作而成；所述谐振组件为一体式结构，其包括双工字梁底座、支撑框体以及位于支撑框体内的m个梳齿片和n个谐振臂，m和n均为正整数，m＞n，m个梳齿片上金属电极的数量为2n。本发明公开了一种采用非接触电极、能够防止和抑制振臂谐振能量外泄的多振臂长度伸缩模石英温度传感器新结构，摸索一种采用耐高温、耐老化的四层复合金属薄膜的非接触电极的结构，从而最高工作温度可达到300℃以上，并且降低了热迟滞，提高了其长期稳定性。

主权项

1.一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，包括封装体以及位于封装体内的谐振组件，谐振组件由石英晶体制作而成；所述封装体包括一端开口的管帽（101）和密封连接于管帽（101）开口侧的可伐金属片（102），可伐金属片（102）上穿设有两个分别用于连接外部电源正负的可伐金属引脚（103），可伐金属引脚（103）与可伐金属片（102）的连接处密封连接有玻璃粉绝缘子（104）；其特征在于，所述谐振组件为一体式结构，其包括双工字梁底座（201）、支撑框体（202）以及位于支撑框体（202）内的m个梳齿片和n个谐振臂，m和n均为正整数，m＞n，m个梳齿片上金属电极（305）的数量为2n；所述双工字梁底座（201）通过减震支撑座（203）与支撑框体（202）连接；所述双工字梁底座（201）和支撑框体（202）分别设置有汇流电极和导流电极；所述梳齿片的至少一个面与谐振臂的其中一个面相对且梳齿片与谐振臂相对的面上设置有金属电极（305），金属电极（305）通过汇流电极和导流电极与可伐金属引脚（103）电性连接；所述汇流电极、导流电极和金属电极（305）与谐振组件之间为非接触式连接。