[发明专利]一种低温漂电容式湿度传感器在审
| 申请号： | 201910352643.5 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110108763A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李卫;刘启凡;陈婉翟;任青颖 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01K7/34;B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温漂电容式湿度传感器，包括衬底，衬底上依次设置有绝缘层和第一钝化层，第一钝化层上设置有多晶硅电极，多晶硅电极上方设置有叉指负电极和叉指正电极，叉指正电极表面覆有一层湿度敏感介质；叉指负电极和叉指正电极形成叉指结构，叉指负电极和叉指正电极之间有第一空气层，构成水平电容；叉指正电极与其下方的第二多晶硅电极直接连接，叉指负电极与其下方的第一多晶硅电极之间设置有第二空气层，且第一多晶硅电极上覆有第二钝化层，叉指负电极与第一多晶硅电极构成垂直电容。本发明提供的低温漂电容式湿度传感器，具有温漂低，响应快，面积相对较小，集成化的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅电极 负电极 叉指 电容式湿度传感器 低温漂 钝化层 电极 衬底 绝缘层 湿度敏感介质 叉指结构 垂直电容 电极表面 电极形成 水平电容 依次设置 集成化 空气层 气层 温漂 响应 | ||
【主权项】：
1.一种低温漂电容式湿度传感器，其特征在于：包括衬底(1)，衬底上依次设置有绝缘层(2)和第一钝化层(3)，第一钝化层(3)上设置有多晶硅电极(4)，多晶硅电极(4)上方设置有叉指负电极(6)和叉指正电极(8)，叉指正电极(8)表面覆有一层湿度敏感介质(7)；叉指负电极(6)和叉指正电极(8)形成叉指结构，叉指负电极(6)和叉指正电极(8)之间有第一空气层(9)，构成水平电容；所述多晶硅电极(4)包括位于叉指负电极(6)下方的第一多晶硅电极(4‑1)和位于叉指正电极(8)下方的第二多晶硅电极(4‑2)，叉指正电极(8)与其下方的第二多晶硅电极(4‑2)直接连接，叉指负电极(6)与其下方的第一多晶硅电极(4‑1)之间设置有第二空气层(10)，且第一多晶硅电极(4‑1)上覆有第二钝化层(5)，叉指负电极(6)与第一多晶硅电极(4‑1)构成垂直电容。
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