[发明专利]一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置在审
| 申请号： | 201910352942.9 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110004428A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/46;C23C16/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置。镀膜设备包括传动机构、放置在传动机构上的托盘、磁材放置在托盘上；降温装置包括位于托盘下方的水冷挡板，升降机构，软管；水冷挡板安装在升降机构的输出端，水冷挡板内设有冷却槽，冷却槽的出口处和入口处均安装有接头，软管与接头相连接，软管和冷却槽内通有冷媒。本装置采用接触式水冷挡板冷却方式，能快速带走热量，且大面积冷却使得磁材温度均匀下降，从而提高生产效率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷挡板 磁材 托盘 软管 冷却槽 快速降温装置 真空镀膜设备 升降机构 镀膜设备 降温装置 冷却方式 生产效率 温度均匀 接触式 入口处 输出端 冷媒 应用 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，镀膜设备包括传动机构、放置在传动机构上的托盘；磁材放置在托盘上；其特征在于：降温装置包括位于托盘下方的水冷挡板，升降机构，软管；水冷挡板安装在升降机构的输出端，水冷挡板内设有冷却槽，冷却槽的出口处和入口处均安装有接头，软管与接头相连接，软管和冷却槽内通有冷媒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东腾胜科技创新有限公司，未经广东腾胜科技创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910352942.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：柔性连续性磁控溅射沉积镀膜工作腔室隔离方法
- 下一篇：钨特征填充
- 同类专利
- 专利分类
