[发明专利]一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置

摘要

本发明公开了一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，包括箱体，所述箱体的一侧设有气体输入管，所述箱体的另一端设有出气管，所述气体输入管的一侧位于所述箱体上设有射频电源输入端，所述箱体设有设有靶材，所述靶材与接地线相连接，所述靶材上方设有安装底座，所述安装底座的两端与所述箱体的内壁相连接，所述安装底座上设有电磁铁，所述电磁铁远离所述靶材的一侧为N级，所述电磁铁靠近所述靶材的一侧为S级，所述靶材下固定设有立柱，所述立柱远离所述靶材的一端通过第一轴承与所述箱体的内壁相连接，所述箱体的内壁固定设有电机。有益效果：从而改善对靶材轰击的均匀性，避免过早更换靶材带来的浪费，即延长了靶材的使用寿命。

主权项

1.一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，包括箱体（1），所述箱体（1）的一侧设有气体输入管（2），所述箱体（1）的另一端设有出气管（3），所述气体输入管（2）的一侧位于所述箱体（1）上设有射频电源输入端（4），所述箱体（1）设有设有靶材（5），所述靶材（5）与接地线（6）相连接，所述靶材（5）上方设有安装底座（7），所述安装底座（7）的两端与所述箱体（1）的内壁相连接，所述安装底座（7）上设有电磁铁（8），所述电磁铁（8）远离所述靶材（5）的一侧为N级，所述电磁铁（8）靠近所述靶材（5）的一侧为S级，所述靶材（5）下固定设有立柱（9），所述立柱（9）远离所述靶材（5）的一端通过第一轴承（10）与所述箱体（1）的内壁相连接，所述箱体（1）的内壁固定设有电机（11），所述电机（11）的输出端设有第一螺纹杆（12），所述第一螺纹杆（12）远离所述电机（11）的一端固定设有第二螺纹杆（13），所述第二螺纹杆（13）与所述第一螺纹杆（12）的纹理相反，所述第二螺纹杆（13）远离所述第一螺纹杆（12）的一端通过第二轴承（14）与所述箱体（1）的内壁相连接，所述第一螺纹杆（12）和所述第二螺纹杆（13）上均螺纹套设有螺母（15），所述螺母（15）的一侧固定设有活动板（16），所述活动板（16）的一侧设有限位机构（17），所述活动板（16）远离所述螺母（15）的一端设有限位传感器（18），所述限位传感器（18）与所述控制模块（19）相连接，所述箱体（1）的一侧设有光传感器（20），所述光传感器（20）与所述控制模块（19）相连接。