[发明专利]一种磁控溅射用靶材的制备装置及方法

摘要

本发明公开了一种磁控溅射用靶材的制备装置及方法，包括料仓，所述料仓下设有下料管，所述下料管上设有电磁阀，所述下料管下方设有烧结炉体，所述烧结炉体的一侧设有控制器，所述烧结炉体上设有进料管，所述进料管与所述下料管相匹配，所述进料管内设有称重斗,所述称重斗下端设有电控自动门，所述电控自动门安装在所述进料管的内壁上，所述电控自动门与称重斗之间设有压力传感器，所述烧结炉体内部设有电热丝放置腔。有益效果：设备简单、烧结时间短，成本低，产品的密度高，质量上乘，机械化程度高，可进行连续的生产，增加了生产的效率，有效的利用了余热，减少了能源的消耗。

主权项

1.一种磁控溅射用靶材的制备装置，其特征在于，包括料仓（1），所述料仓（1）下设有下料管（2），所述下料管（2）上设有电磁阀（3），所述下料管（2）下方设有烧结炉体（4），所述烧结炉体（4）的一侧设有控制器（5），所述烧结炉体（4）上设有进料管（6），所述进料管（6）与所述下料管（2）相匹配，所述进料管（6）内设有称重斗（7）, 所述称重斗（7）下端设有电控自动门（8），所述电控自动门（8）安装在所述进料管（6）的内壁上，所述电控自动门（8）与称重斗（7）之间设有压力传感器（9），所述烧结炉体（4）内部设有电热丝放置腔（10），所述电热丝放置腔（10）内壁设有电加热丝（11），所述电热丝放置腔（10）上位于所述烧结炉体（4）内设有集热腔（12），所述集热腔（12）上开设有主加热开口（13），所述电加热丝（11）位于所述主加热开口（13）下方，所述主加热开口（13）的两侧位于所述集热腔（12）上分别设有预热开口（14）和保温开口（15），所述烧结炉体（4）的一侧位于所述集热腔（12）的上方开设有缺口（16），所述缺口（16）内设有转盘（17），所述转盘（17）的中部设有转轴（18），所述转轴（18）远离所述转盘（17）的一端位于第一电机（19）的输出端，所述转盘（17）的周围设有若干放置槽（20），所述放置槽（20）下开设有第一通孔（21），所述放置槽（20）内放置设有底模（22），所述底模（22）包括外壳（23），所述外壳（23）的两侧设有转动杆（24），所述放置槽（20）的两侧设有立板（25），所述立板（25）上开设有卡槽（26），所述卡槽（26）与所述转动杆（24）相匹配，所述外壳（23）下设有第二通孔（27），所述第二通孔（27）与所述第一通孔（21）相匹配，所述外壳（23）内设有内模（28），所述内模（28）上设有把手板（29），所述放置槽（20）的一侧开设有放置空腔，所述放置空腔内固定设有第二电机（30），所述第二电机（30）的输出端固定设有旋转板（31），所述旋转板（31）的边缘位置固定设有固定柱（32），所述固定柱（32）上套设有套环（33），所述套环（33）的一侧固定设有第一传动杆（34），所述第一传动杆（34）远离所述套环（33）的一端通过活动轴活动连接设有第二传动杆（35），所述放置槽（20）与所述放置空腔之间设有传动杆通道（36），所述第二传动杆（35）贯穿所述传动杆通道（36）延伸至所述放置槽（20）内与所述底模（22）的外壁相匹配，所述烧结炉体（4）的一侧设有液压杆（37），所述液压杆（37）的输出端设有上模（38），所述上模（38）与所述内模（28）相匹配，所述电磁阀（3）、电控自动门（8）、第一电机（19）、第二电机（30）、电加热丝（11）分别与所述控制器（5）电性连接。