[发明专利]一种磁控溅射用靶材的回收系统及其回收工艺

摘要

本发明公开了一种磁控溅射用靶材的回收系统及其回收工艺，包括传送机构、第一清洗机构、烘干机构、第二清洗机构、打磨机构、转运车、切割机构和高压锻造炉，所述传送机构包括传送轨道，传送轨道内设有滚轮，滚轮设置于活动连接板上，活动连接板的两端设有连接端头，所述连接端头上连接固定在连接链条的两端，传送轨道的两端设有第一链轮，所述传送轨道上固定设有第一电机，第一电机的输出端设有第二链轮，所述连接链条依次与所述第一链轮和所述第二链轮相链接。有益效果：使用方便，可在打磨的同时进行有机溶剂清洗，进而连续进行回收，增加了回收的效率。具有简化回收工艺，回收后的靶材可继续用于磁控溅射中，节约了成本的优点。

主权项

1.一种磁控溅射用靶材的回收系统，其特征在于，包括传送机构（1）、第一清洗机构（2）、烘干机构（3）、第二清洗机构（4）、打磨机构（5）、转运车（6）、切割机构（7）和高压锻造炉（8），所述传送机构（1）包括传送轨道（9），所述传送轨道（9）内设有滚轮（10），所述滚轮（10）设置于活动连接板（11）上，所述活动连接板（11）的两端设有连接端头（12），所述连接端头（12）上连接固定在连接链条（13）的两端，所述传送轨道（9）的两端设有第一链轮（14），所述传送轨道（9）上固定设有第一电机（15），所述第一电机（15）的输出端设有第二链轮（16），所述连接链条（13）依次与所述第一链轮（14）和所述第二链轮（16）相链接，所述活动连接板（11）下固定设有第一气缸（17），所述第一气缸（17）的输出端通过若干连接杆（18）固定设有环形过滤网（19），所述环形过滤网（19）远离所述连接杆（18）的一端设有过滤底板（20），所述过滤底板（20）的中部设有旋转中轴（21），所述旋转中轴（21）的两端与所述环形过滤网（19）相连接，所述环形过滤网（19）上位于所述过滤底板（20）的两侧设有限位挡柱（22），所述传送轨道（9）下设有所述第一清洗机构（2），所述第一清洗机构（2）包括壳体（23），所述壳体（23）的内固定设有清洗槽（24），所述清洗槽（24）的内壁固定设有若干高压喷头（25），所述高压喷头（25）的输入端通过第一水管与水泵（26）的输出端相连接，所述水泵（26）位于所述壳体（23）内，所述水泵（26）的输入端通过第二水管与所述清洗槽（24）相连接，所述壳体（23）的一侧设有烘干机构（3），所述烘干机构（3）包括数量为两块限位板（27），所述限位板（27）之间设有若干烤灯（28），所述限位板（27）相互靠近的一侧设有风机（29），所述限位板（27）的一侧设有所述第二清洗机构（4），所述第二清洗机构（4）包括超声波清洗机，所述超声波清洗机的一侧设有所述打磨机构（5），所述打磨机构（5）包括第一支架（30），所述第一支架（30）上设有连接轴（31），所述连接轴（31）旋转设有旋转筒（32），所述旋转筒（32）上设有密封机构（33），所述旋转筒（32）内填充有打磨磨料，所述旋转筒（32）的一侧固定设有第一齿轮（34），所述第一齿轮（34）的一侧设有第二齿轮（35），所述第二齿轮（35）位于第二电机（36）的输出端，所述第一支架（30）的一侧设有切割机构（7），所述切割机构（7）包括第二支架（37），所述第二支架（37）上固定设有第二气缸（38），所述第二气缸（38）的输出端固定设有切割机（39），所述切割机（39）下设有底板（40），所述底板（40）上固定设有数量为两个的挡板（41），其中一个挡板（41）内侧固定设有第三气缸（42），所述第三气缸（42）上设有夹板（43），所述第二支架（37）的一侧设有所述高压锻造炉（8），所述高压锻造炉（8）的一侧设有模具组（44），所述第一支架（30）下设有所述转运车（6）。