[发明专利]基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置在审
| 申请号： | 201910355701.X | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110395000A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 曾杰 | 申请（专利权）人： | 曾杰 |
| 主分类号： | B29C70/54 | 分类号： | B29C70/54;B29C35/04;B29C35/08 |
| 代理公司： | 淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37280 | 代理人： | 袭娜;王燕 |
| 地址： | 新加坡宏茂桥区5*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固化工艺及装置，具体涉及一种基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置。向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉正下方，将微波处理炉完全覆盖住光罩盒，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；开启微波炉侧面的进气门，启动热气流加热装置，使用热气流喷射光罩盒，关闭高压喷射气流，部件固化和表面缺陷消除完成。本发明避免引入挥发性有机物杂质，有效去除热塑成型工艺造成的部件表面缺陷，固化速度快，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高；本发明同时提供其装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩盒 固化工艺 固化 微波处理炉 微波处理 热气流 红外温度传感器 挥发性有机物 表面缺陷 部件表面 高压喷射 加热装置 均匀性好 热塑成型 树脂材料 微波电源 注入成型 监控光 进气门 碳材料 微波炉 罩盒 去除 喷射 能耗 侧面 引入 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉内，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；使用热气流喷射光罩盒，喷射完毕后，排气，处理完成。
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