[发明专利]一种钛合金表面抗热冲刷涂层的制备方法

摘要

本发明是一种钛合金表面抗热冲刷涂层的制备方法，该方法采用气相沉积设备分多次沉积在钛合金表面涂覆不同成分，不同组织结构的涂层，有效增加基材使用过程中高温抗热震性能，抗氧化性能，解决了热匹配问题，防止钛合金界面处的应力集中。本发明的步骤是：1.在钛合金表面沉积界面结合层；2.在界面结合层表面沉积组元梯度涂层；3.在组元梯度涂层表面制备组织梯度涂层；3.在组织梯度涂层表面制备抗磨损复合涂层。本发明的优点是：采用PVD涂层技术，制备四种不同组织成分梯度的涂层，可以有效的防止热冲刷，其中涉及多钟材质的靶材，操作简单。

主权项

1.一种钛合金表面抗热冲刷涂层的制备方法，该方法的操作步骤如下：步骤1、在磁控溅射设备中，对钛合金基材进行沉积，采用TiAl或Ti3Al作为溅射靶材；在钛合金基材表面沉积出TiAl或Ti3Al的结合层，其中工作气体为Ar气；步骤2、在结合层表面沉积出TiAlN或Ti3AlN致密组元梯度涂层，其中工作气体为Ar气和N₂气的混合气体；步骤3、在致密组元梯度涂层表面沉积出TiAlN或Ti3AlN的组织梯度涂层，其中工作气体为Ar气和N₂气的混合气体，步骤3中Ar气和N₂气的混合气体中N₂气与Ar气的质量比高于步骤2中的N₂气与Ar气的质量比；步骤4、采用TiAl、Ti3Al、Ta或Hf作为溅射靶材；在组织梯度涂层表面沉积出碳化物和非晶碳复合材料涂层，其中工作气体为Ar气和CH₄气的混合气体。