[发明专利]一种快速原位放电修整加工STM探针的方法有效
| 申请号： | 201910356500.1 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110026626B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 杨晔 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | B23H1/00 | 分类号： | B23H1/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种快速原位放电修整加工STM探针的方法，STM扫描样品表面后，进行原位的探针针尖修整加工：将STM探针作为阳极，样品作为阴极，控制纳米尺度的极间加工间距，在两极间施加短脉冲的直流电压，形成纳米尺度的放电通道，蚀除探针针尖的边缘材料，提高针尖的尖锐度。与现有技术相比，本发明不但可以实现STM探针的尖锐化，从而提高STM扫描成像的分辨率，而且在整个探针的修整加工过程中，不需要进行探针的装夹和重复定位，在STM装置中选定区域后原位地进行即可，提高了加工效率，操作方便且快速。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 原位 放电 修整 加工 stm 探针 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速原位放电修整加工STM探针的方法，其特征在于，STM扫描样品表面后，进行原位的探针针尖修整加工：将STM探针作为阳极，样品作为阴极，控制纳米尺度的极间加工间距，在两极间施加短脉冲的直流电压，形成纳米尺度的放电通道，蚀除探针针尖的边缘材料，提高针尖的尖锐度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海师范大学，未经上海师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910356500.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
