[发明专利]速率监控装置、蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201910356905.5 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN110257791B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 陈海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种速率监控装置、蒸镀设备及蒸镀方法。本发明的速率监控装置，包括挡板组件、膜厚检测组件和多个晶振片，挡板组件包括本体、开设于本体上的第一开口和第二开口，以及设置于本体上的用于封闭和暴露所述第二开口的第一挡板，所述本体遮挡所述多个晶振片，所述第一开口暴露一所述晶振片，所述第二开口暴露所述另一所述晶振片，所述膜厚检测组件用于检测所述第一开口暴露出的所述晶振片上所沉积蒸镀材料层的膜厚，以确定所述蒸镀速率。本发明蒸镀时的生产效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 速率 监控 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种速率监控装置，用于监控蒸镀设备的蒸镀速率，其特征在于，所述速率监控装置包括挡板组件、膜厚检测组件和多个晶振片，所述挡板组件包括本体、开设于所述本体上的第一开口和第二开口以及设置于所述本体上的用于封闭和暴露所述第二开口的第一挡板，所述本体遮挡所述多个晶振片，所述第一开口暴露一所述晶振片，所述第二开口暴露另一所述晶振片，所述膜厚检测组件用于检测所述第一开口暴露出的所述晶振片上所沉积蒸镀材料层的膜厚，以确定所述蒸镀速率。
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