[发明专利]离子束中和方法和离子注入装置有效
| 申请号： | 201910358773.X | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110828269B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 锹田雄介 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能节约用于抑制离子束膨胀的离子束中和用气体量的方法和离子注入装置。在从导入离子源的掺杂气体的等离子体通过引出电极引出的离子束中，当所述掺杂气体含卤时，不向离子束轨道供给中和用气体，当所述掺杂气体不含卤时，向离子束轨道供给中和用气体。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 中和 方法 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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