[发明专利]一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统有效
| 申请号： | 201910359998.7 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110068576B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 鞠晶;魏江涛;王楠舒;贾云玲;蒿旭阳;惠艳雨 | 申请（专利权）人： | 北京大学;北京晨浩微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 郝晓红 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，采用的技术方案是一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，包括光学显微镜、电学工作站、与电学工作站连接的样品台及为样品台腔室提供气氛环镜的气路系统，关键在于，所述样品台中包括集成电路测试台和设置在其下方、安装有原位芯片的芯片安装台组件，集成电路测试台中包括底座、安装在底座上的探针密封组件和电路板及限位在探针密封组件中、具有弹性探头的探针，电路板下压时，探头与原位芯片的电极之间形成自密封结构。有益效果是本系统在光学显微镜下完成原位气体加热、真空加热及电学实验等多类型实验，为原位透射实验提供依据，操作简便；实验风险低、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 显微镜 热电 原位 气氛 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，包括光学显微镜、电学工作站、与电学工作站连接的样品台及为样品台腔室提供气氛环镜的气路系统，其特征在于，所述样品台中包括集成电路测试台（3）和设置在其下方、安装有原位芯片（2）的芯片安装台组件（1），集成电路测试台（3）中包括底座（6）、安装在底座（6）上的探针密封组件（5）和电路板（4）及限位在探针密封组件（5）中、具有弹性探头（9‑2）的探针（9），电路板（4）下压时，探头（9‑2）与原位芯片（2）的电极（2‑1）之间形成自密封结构。
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