[发明专利]一种原位气氛热电两场测试用样品台及芯片电极自密封结构在审
| 申请号： | 201910360019.X | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110109001A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 鞠晶;魏江涛;贾云玲;王楠舒;蒿旭阳;惠艳雨 | 申请（专利权）人： | 北京大学;北京晨浩微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 郝晓红 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种原位气氛热电两场测试用样品台及芯片电极自密封结构，采用的技术方案是：一种原位气氛热电两场测试用样品台，基于光学显微镜，包括集成电路测试台和安装有原位芯片的芯片安装台组件，关键在于，所述集成电路测试台中包括底座、安装在底座上的探针密封组件及电路板，探针限位于包括上密封板、探针导向板和下密封板的探针密封组件的连通孔中，探针导向板上开设通孔并限位有压簧，电路板下压时借助压簧形成下密封板与原位芯片之间、探针与电极之间的自密封结构。有益效果是：结构简单，易于加工，制造成本低，降低了实验成本；可以在光学显微镜下完成原位气体加热、真空加热及电学实验等多类型实验，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 自密封结构 场测试 样品台 热电 电路板 光学显微镜 密封组件 下密封板 芯片电极 原位芯片 导向板 底座 芯片安装台组件 集成电路测试 电学实验 气体加热 上密封板 实验成本 真空加热 制造成本 测试台 多类型 连通孔 电极 通孔 下压 限位 压簧 有压 集成电路 加工 | ||
【主权项】：
1.一种原位气氛测试用样品台，基于光学显微镜，包括集成电路测试台（3）和安装有原位芯片（2）的芯片安装台组件（1），其特征在于，所述集成电路测试台（3）中包括底座（6）、安装在底座（6）上的探针密封组件（5）及电路板（4），探针（9）限位于包括上密封板（12）、探针导向板（11）和下密封板（8）的探针密封组件（5）的连通孔中，探针导向板（11）上开设通孔（11‑1）并限位有压簧（10），电路板（4）下压时借助压簧（10）形成下密封板（8）与原位芯片（2）之间、探针（9）与电极（2‑1）之间的自密封结构。
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