[发明专利]掩膜版清洁装置及方法在审
| 申请号： | 201910361336.3 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110000142A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 刘苏伟;王善鹤;杨硕;袁亚鸿;张琪;张孟湜;张杰;古春笑 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/14 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种掩膜版清洁装置及方法，所述掩膜版清洁装置包括：用于容纳掩膜版的腔室以及喷洒结构，所述喷洒结构用于向所述掩膜版喷洒雾状清洁液。本发明提供的掩膜版清洁装置及方法能够在将掩膜版清洗干净的同时，不损伤掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 清洁装置 喷洒 清洁液 腔室 雾状 清洗 损伤 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版清洁装置，其特征在于，包括：用于容纳掩膜版的腔室以及喷洒结构，所述喷洒结构用于向所述掩膜版喷洒雾状清洁液。
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