[发明专利]一种光照射装置有效
| 申请号： | 201910361956.7 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111856745B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 许凯迪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光照射装置。该装置包括线状光源；多个反射单元，围绕线状光源形成反射腔，反射腔包括出光口，线状光源出射的部分光束经至少一个反射单元反射后从出光口出射；多个第一探测单元，用于测量入射到对应的反射单元的光束的入射角和第一能量分布；多个旋转单元，用于带动反射单元旋转；第二探测单元，用于测量出光口的出射光束的出射角和第二能量分布；控制单元，用于获取入射角、第一能量分布、出射角和第二能量分布的数据，并根据预设出射角、预设能量分布和上述数据控制旋转单元旋转反射单元，以使出射光束以预设出射角和预设能量分布出射。本发明的技术方案，可实现出射光束的出射角和能量分布可调，以满足多种应用场景的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照射 装置 | ||
【主权项】：
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