[发明专利]基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201910362630.6 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111855877A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;杨雪蕾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60;B01D15/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本发明的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 固定 微型 填充 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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