[发明专利]一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件

摘要

为了解决传统机械刃边拼接狭缝其狭缝长度短、宽度大，难以加工较长的高精密狭缝，以及激光刻蚀成型一体化狭缝其狭缝平面度和直线度难以满足要求的问题，本发明提供一种多狭缝组件成型方法及多狭缝组件。其中方法包括以下步骤：1)制作多狭缝刻蚀基材；2)装配多狭缝刻蚀基材；具体为2.1)在狭缝上盖板上和狭缝下盖板上开设有通槽；在所述狭缝上盖板或者狭缝下盖板上设置修切垫；2.2)将多狭缝刻蚀基材设置在狭缝上盖板和狭缝下盖板之间；在多狭缝刻蚀基材与狭缝上盖板和狭缝下盖板之间分别设置非线性弹性垫圈；2.3)通过修研狭缝上盖板和狭缝下盖板之间修切垫的高度，使多狭缝刻蚀基材的直线度和平面度满足要求；3)固定多狭缝刻蚀基材。

主权项

1.一种多狭缝组件成型方法，其特征在于，包括如下步骤：1)制作多狭缝刻蚀基材根据设定的多狭缝形位关系指标要求，对刻蚀基材进行刻蚀，得到多狭缝刻蚀基材(3)，所述形位关系指标要求包括位置、尺寸、宽度；2)装配多狭缝刻蚀基材2.1)在狭缝上盖板(1)上开设第一通槽(11)，狭缝下盖板(5)上开设与第一通槽(11)配合的第二通槽(51)；在所述狭缝上盖板(1)或者狭缝下盖板(5)上设置修切垫(6)；2.2)将多狭缝刻蚀基材(3)设置在狭缝上盖板(1)和狭缝下盖板(5)之间，使得光能够依次穿过狭缝上盖板(1)上的第一通槽(11)、多狭缝刻蚀基材(3)上的狭缝、狭缝下盖板(5)上的第二通槽(51)；在多狭缝刻蚀基材(3)与狭缝上盖板(1)和狭缝下盖板(5)之间分别设置非线性弹性垫圈(2)；2.3)通过修研狭缝上盖板(1)和狭缝下盖板(5)之间修切垫(6)的高度，使多狭缝刻蚀基材(3)的直线度和平面度满足要求；3)固定多狭缝刻蚀基材将狭缝上盖板(1)和狭缝下盖板(5)固定。