[发明专利]一种晶圆缺陷检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910363691.4 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111855662B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 王通;王潇斐 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆缺陷检测装置及方法，所述检测装置至少包含：光源；晶圆，所述晶圆包括多个第一晶粒和多个第二晶粒；分光镜，所述分光镜将所述光源发射的光线分成第一光束和第二光束；偏光镜，用于将第一光束和第二光束分别反射到第一晶粒和第二晶粒上；以及传动装置，所述传动装置使所述第一偏光镜和所述第二偏光镜分别与所述第一晶粒和所述第二晶粒同时产生沿所述第一方向的相对移动。上述检测装置使光源变为2束同样波长及性质的光源波，将检测装置检测方式改为2排同行或者2列同行的方式，并且在偏光镜上增加传动装置，通过X方向的平移来保证检测光线照射位置的准确性，从而极大地提高了光学检测速度并提高了检测吞吐量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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