[发明专利]一种工艺腔室在审
| 申请号： | 201910364899.8 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111850504A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 李冲;吴琼;孙红霞 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京智晨知识产权代理有限公司 11584 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。本发明通过在腔室中设置限位装置，限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工艺 | ||
【主权项】：
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