[发明专利]一种波像差测量装置及光刻机有效
| 申请号： | 201910365328.6 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111856885B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 夏建培;马明英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种波像差测量装置及光刻机。所述波像差测量装置包括：照明系统，以及物面光栅板、投影物镜、像面光栅板和光电探测器；物面光栅板和像面光栅板均为透明光栅板；物面光栅板包括物面光栅，物面光栅由多个间隔均匀的凸起部或凹陷部排列组成，凸起部的高度或凹陷部的深度为d；像面光栅板包括像面光栅，像面光栅由多个间隔均匀的凸起部或凹陷部排列组成，凸起部的高度或凹陷部的深度为d；其中，d＝λ(k+1/2)/(n |
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| 搜索关键词： | 一种 波像差 测量 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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