[发明专利]加工方法及加工装置有效

专利信息
申请号: 201910367769.X 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN110587119B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 山口友之 申请(专利权)人: 住友重机械工业株式会社
主分类号: B23K26/02 分类号: B23K26/02;B23K26/08;B23K26/382;H05K3/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够减小预先规定的被加工点的位置与实际加工的位置之间的偏差的加工方法。基板的被加工面被划分为多个单位区域,并且对应于每个单位区域而设置有对准标记。在单位区域的内部定义有多个被加工点的位置。对每个单位区域的内部的所述被加工点进行加工时,针对每个单位区域的加工,检测出与接下来要加工的单位区域相对应的对准标记的位置,并且根据检测结果对被加工点进行加工。
搜索关键词: 加工 方法 装置
【主权项】:
1.一种加工方法,其特征在于,/n包括对基板的每个单位区域内部的被加工点进行加工的工序,其中,所述基板的被加工面被划分为多个单位区域,并且对应于每个单位区域而设置有对准标记,在所述单位区域的内部定义有多个被加工点的位置,/n针对所述每个单位区域的加工,检测出与接下来要加工的单位区域相对应的对准标记的位置,并且根据检测结果对所述被加工点进行加工。/n
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