[发明专利]微型器件测试腔有效
| 申请号： | 201910368208.1 | 申请日： | 2019-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN110045158B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 范超;袁硕;柳钢吒;田贺;王蒙军;郑宏兴;李尔平 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067;G01M11/02;G01N27/12 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 付长杰 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明微型器件测试腔，该测试腔包括：测试腔主体、透光玻璃固定板、透光玻璃、样品进口挡板以及探针管，测试腔主体与透光玻璃、样品进口挡板围成密闭空间，透光玻璃通过透光玻璃固定板固定在测试腔主体上；测试腔主体内部放置待测试样品，在待测试样品上方的测试腔主体上设置进光口，在测试腔主体的侧壁上均匀设置有多个探针管窗口，多个探针窗口朝向测试样品所在方向倾斜设置，在每个探针窗口内均密封连接探针管，探针管内设置探针，探针穿出探针管一端接触待测试样品；在测试腔体上还设置有通气孔。该测试腔可以在不改变器件的位置同时，实现对器件光电性质的原位测量，能通过改变气体的种类和流速等参数测试器件的气敏性质。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 器件 测试 | ||
【主权项】：
1.一种微型器件测试腔，其特征在于，该测试腔包括：测试腔主体、透光玻璃固定板、透光玻璃、样品进口挡板以及探针管，测试腔主体与透光玻璃、样品进口挡板围成密闭空间，透光玻璃通过透光玻璃固定板固定在测试腔主体上；测试腔主体内部放置待测试样品，在待测试样品上方的测试腔主体上设置进光口，在测试腔主体的侧壁上均匀设置有多个探针管窗口，多个探针窗口朝向测试样品所在方向倾斜设置，在每个探针窗口内均密封连接探针管，探针管内设置探针，探针穿出探针管一端接触待测试样品；在测试腔体上还设置有通气孔。
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