[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板、面板、装置有效
| 申请号： | 201910368569.6 | 申请日： | 2019-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN110061064B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李民;张伟;徐苗;邹建华;陶洪 | 申请（专利权）人： | 广州新视界光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 510700 广东省广州市高新技术*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板、面板、装置。该薄膜晶体管包括衬底基板；位于衬底基板上的图形化的有源层，有源层包括中间区，以及源极区和漏极区；位于有源层上的栅极绝缘层，栅极绝缘层包括主体部，以及第一子部和第二子部；位于主体部上的栅极；覆盖栅极、第一子部、第二子部以及衬底基板的第一绝缘层；位于第一绝缘层上的源极和漏极，源极与源极区电连接，漏极与漏极区电连接。本发明实施例提供的技术方案，避免了有源层的高导处理损伤有源层表面，保证了薄膜晶体管具有良好的短沟道器件性能，且绝缘层能够完全覆盖层叠的栅极和主体部与两侧区域内结构之间的台阶，提升了薄膜晶体管的器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制作方法 显示 面板 装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底基板；位于所述衬底基板上的图形化的有源层，所述有源层包括中间区，以及分别设置于所述中间区相对两侧的源极区和漏极区；位于所述有源层上的栅极绝缘层，所述栅极绝缘层包括主体部、第一子部和第二子部，所述主体部位于所述中间区上，所述第一子部位于所述源极区上，所述第二子部位于所述漏极区上；位于所述主体部上的栅极；覆盖所述栅极、所述第一子部、所述第二子部以及所述衬底基板的第一绝缘层；位于所述第一绝缘层上的源极和漏极，所述源极与所述源极区电连接，所述漏极与所述漏极区电连接。
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