[发明专利]一种晶圆盒的吊装装置有效
| 申请号： | 201910373985.5 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110155870B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清 | 申请（专利权）人： | 芯导精密（北京）设备有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/12 | 分类号： | B66C1/12;B66C1/28 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 100176 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆盒的吊装装置，包括定板和位于所述定板下侧的动板，所述动板通过若干根柔性绳与所述定板连接，所述动板在所述柔性绳自然垂直时呈水平状态，所述动板的两侧设有抓取部件，所述抓取部件连接有移动机构，所述抓取部件在所述移动机构的驱动下能够相向或异向运动。本发明的晶圆盒的吊装装置可准确地将处于非水平状态的晶圆盒吊起，且利用晶圆盒以及动板和抓取部件自重能够防止锁杆向外侧移动，防止晶圆盒在吊装运输的过程中坠落，提高了装置的安全性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 吊装 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆盒的吊装装置，其特征在于：包括定板和位于所述定板下侧的动板，所述动板通过若干根柔性绳与所述动板连接，所述动板在所述柔性绳自然垂直时呈水平状态，所述动板的两侧设有抓取部件，所述抓取部件连接有移动机构，所述抓取部件在所述移动机构的驱动下能够相向或异向运动。
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