[发明专利]一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置在审
申请号: | 201910378430.X | 申请日: | 2019-05-08 |
公开(公告)号: | CN109987414A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 侯长军;林满育;李力;李旭 | 申请(专利权)人: | 广州林恩静电科学技术应用有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510530 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置,涉及半导体生产技术领域,解决了滚轮传送段静电不良损坏的问题,具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置包括滚轮、静电压测试设备、离子化设备和静电抑制机构,滚轮构成传送带,滚轮上方放置有需要进行加工的玻璃基板,所述静电压测试设备位于传送带的上方,用于判断玻璃基板的静电带电水平,离子化设备安装在传送带的下方区域,静电抑制机构安装在离子化设备无法安装的区域;具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置有效解决平板显示产品前段制造中不同滚轮传送带中的产品静电不良损失与产品静电可靠性损失问题。 | ||
搜索关键词: | 平板显示产品 滚轮传送装置 静电安全技术 静电 离子化设备 传送带 滚轮 玻璃基板 测试设备 静电抑制 静电压 半导体生产技术 滚轮传送带 带电水平 滚轮传送 机构安装 损失问题 有效解决 加工 制造 | ||
【主权项】:
1.一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置,包括滚轮(402)、玻璃基板(401)、静电压测试设备(5)、离子化设备(6)和静电抑制机构(7),滚轮(402)构成传送带,滚轮(402)上方放置有需要进行加工的玻璃基板(401),其特征在于,所述静电压测试设备(5)位于传送带的上方,离子化设备(6)安装在传送带的下方区域,静电抑制机构(7)安装在传送带下方的设定区域。
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