[发明专利]一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法

摘要

本发明公开了一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法。轧制中先将轧机辊缝设为单道次压下量一半对超高纯铝铸锭进行轧制，咬入后倒回并将辊缝设定为单道次压下量再次对超高纯铝铸锭进行轧制，通过该方法能够避免在轧制过程中出现咬入打滑现象，实现大压下量轧制。另外，本发明还通过对咬入条件进行改善，通过对润滑剂使用、轧制温度进行控制，设定严格工艺，使轧制顺利进行同时实现大压下量轧制、提高生产率，制得的超高纯铝溅射靶材，其晶粒细小，均匀性良好，控制在150微米内，满足客户需求。

主权项

1.一种超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将超高纯铝铸锭进行表面铣削，去除表面的氧化层；2)将铸锭放入加热炉加热至230‑270℃；3)轧制：将加热后的铸锭在可逆式热轧机上进行轧制，单道次压下量为20mm，轧制时使用乳液进行润滑；首先可逆式热轧机辊缝设为单道次压下量的一半，铸锭头部咬入后停止轧制，轧辊翻转，铸锭回退至入口侧；随后调整可逆式热轧机辊缝至单道次压下量进行轧制，多次轧制得到厚度为50mm的靶坯；4)将步骤3)所得靶坯头尾铸口咬合部分切除，随后根据所需长度对靶坯进行等分，自然冷却；5)将步骤4)所得的靶坯再次加热至230‑270℃，保温；6)随后进行二次轧制，控制单道次压下量为10‑30mm，经单道次或多道次轧制将靶坯厚度轧制至成品厚度；终轧后立即将轧件迅速均匀冷却至室温；7)对步骤6)所制得的靶材进行热处理,热处理温度为250‑270℃，保温1h，退火；8)对退火后的靶材矫平后进行铣削加工，制得超高纯铝溅射靶材。