[发明专利]一种铜镍合金旋转靶材及其生产方法在审
| 申请号： | 201910379955.5 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110227906A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 吴本明;文宏福 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 程毅 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其对真空熔炼工艺和自由锻冲孔工艺进行了改善从而达到避免铜镍合金旋转靶材产生裂纹的技术目的：通过对熔铸温度和真空度进行控制，能够有效减少铸锭残余缩孔、夹有杂质等会引发锻造裂纹的缺陷，同时通过预先车孔进而减小冲孔时的阻力从而避免冲孔时产生裂纹。通过本方法所制备得到的铜镍合金旋转靶材，其具有组织成分均匀、致密性良好的优点，且晶粒度可达到100微米，能够避免锻造裂纹的产生，满足客户需求同时使用效果良好，适应目前市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 铜镍合金 旋转靶材 冲孔 锻造 真空熔炼工艺 客户需求 有效减少 晶粒度 致密性 自由锻 车孔 减小 缩孔 铸锭 制备 熔铸 生产 | ||
【主权项】：
1.一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：1)真空熔炼：对原料真空熔炼得到铜镍合金铸锭；2)预车孔：在步骤1)所得的铜镍合金铸锭中部用车床预车一通孔；3)冲孔：使用冲头对步骤2)所得铸锭的通孔进行冲孔，得靶材粗坯；4)修整：对步骤3)所得的靶材粗坯进行冲孔扩孔、拉拔、滚圆达到所需尺寸的铜镍合金旋转靶材。
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