[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积反应装置

摘要

本发明揭示了一种MOCVD反应装置，包括载盘及位于载盘下方的加热装置，加热装置包括加热丝组件及支撑加热丝组件的支架组件，加热丝组件包括对应载盘的边缘区域设置的外圈加热丝，支架组件包括支撑外圈加热丝的若干外圈支架，外圈支架包括平行设置的两条外圈支撑脚及连接两条外圈支撑脚的外圈支撑部，外圈支撑部远离两条外圈支撑脚的一侧包括呈平面的支撑面，支撑面包括相连的第一支撑面及第二支撑面，第一支撑面对应两条外圈支撑脚的中间区域设置，第二支撑面朝远离外圈加热丝的中心方向凸伸出第一支撑面，且外圈加热丝位于第一支撑面及第二支撑面上。本发明在原有机台整体不动的情况下，简单改变几个部件的设计便可提高产能，实用性高。