[发明专利]一种键合设备、键合波的检测方法及系统

摘要

本发明提供一种键合设备、键合波的检测方法及系统，其中键合设备包括上卡盘、顶针和下卡盘，在上卡盘的第二表面上设置有多个光感装置，每个光感装置包括光发射单元和光接收单元，在光感装置下设置有贯通上卡盘的光通路，各光感装置的光发射单元可以用于沿相应的光通路发射垂直与上卡盘的第一表面的光线，光接收单元可以用于接收沿相应的光通路返回的反射光，在上卡盘吸附第一晶圆时，各光感装置获得的反射光的光强度变化状态可以反映第一晶圆和上卡盘的相对位置，从而用于第一晶圆上的键合波的检测，进而可以在实际操作中准确的确定与键合波的移动匹配的上晶圆真空释放时间，从而提高键合控制的精确度，降低晶圆键合成本。

主权项

1.一种键合设备，其特征在于，包括：上卡盘和顶针，所述顶针沿其轴向穿过所述上卡盘，所述上卡盘具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有多个第一吸附区，所述多个第一吸附区以所述顶针为中心向四周沿径向依次分布；下卡盘，所述下卡盘具有多个第二吸附区，所述第二吸附区与所述第一吸附区相对设置；位于所述第二表面上的多个光感装置，所述光感装置沿所述上卡盘的径向依次分布，每个光感装置包括光发射单元和光接收单元；位于所述光感装置下且贯通所述上卡盘的光通路；其中，各所述光感装置的光发射单元用于沿相应的光通路发射垂直于所述第一表面的光线、光接收单元用于接收沿所述相应的光通路返回的反射光，各光感装置获得的反射光的光强度变化状态用于键合波的检测，所述光强度变化状态为光强度变小。