[发明专利]一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法

摘要

本发明涉及一种电镜检测和维护的技术领域，更具体地说，它涉及一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，其技术方案要点是：第一，控制对中调节螺丝的旋转角度，逐步缩小灯丝偏离栅极孔中心的幅度，防止调节过程灯丝反复偏离中心，缩短调节时间；第二，在体视显微镜工作台面设置一个定位圆，快速肉眼观察和手动定位，保证栅极帽位于显微镜视场的中心位置，大大缩短每次观察灯丝对中效果的操作时间；第三，细化和量化操作动作，从而实现快速、精确的灯丝对中。

主权项

1.一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）安装灯丝时，用专用的镊子夹持灯丝的两个叉脚，顺着固定盘内的卡槽位置，将灯丝镶入固定盘内，注意使灯丝的两个叉脚连成的直线与固定盘开口边沿的两个槽口连成的直线平行，并用螺丝起子，依次扭转固定盘外侧面均匀分布的四个第一螺丝，卡住陶瓷座，从而将灯丝固定在固定盘内，通过肉眼观察，调整固定盘的四个第一螺丝，使陶瓷座与固定盘同心；（2）一手捏住固定盘，将灯丝的两个叉脚所在的一端，放入对中圈圆筒内，注意固定盘边缘的缺口或小孔要与对中圈的圆筒内侧的销或槽对齐，并用螺丝起子，利用对中圈圆筒上均匀分布的四个第二螺丝，卡住固定盘，从而将灯丝固定在对中圈内，肉眼观察，调整对中圈的四个第二螺丝，使陶瓷座与对中圈同心；（3）一手握住栅极帽，使栅极帽的开口端朝上，首先，将栅极帽专门配备的垫片或弹簧片放入栅极帽内，然后，将栅极帽稍微倾斜，另一只手将对中圈以灯丝的叉尖所在的一端缓缓塞入栅极帽内，注意不要让灯丝的叉尖碰到栅极帽内侧以及垫片或弹簧片，再将栅极帽专门配备的调节圈套在栅极帽的开口端，利用专门旋转工具稍微拧转调节圈，将对中圈固定在栅极帽中；（4）将栅极帽翻转，使栅极帽的开口端朝下，肉眼观察栅极孔，看到灯丝的叉尖，继续拧紧调节圈，使灯丝的叉尖缓慢地从栅极孔内往外伸出到与栅极帽的圆形平面基本齐平；（5）在一张空白纸或垫块的上表面，用圆规或手工画出一个圆，圆的直径稍微大于栅极帽的开口端的外轮廓直径，同时在所画的圆心处作上标记，将纸片或垫块放置在体视显微镜的物镜正下方，通过目镜观察圆心并调焦，移动纸张或垫块使圆心位于视场中心，固定纸张或垫块；（6）栅极帽朝向灯丝的叉尖的端面朝上，将栅极帽放置在所画的圆圈内，目镜观察灯丝的叉尖并调焦，直至清晰地观察到栅极孔内的灯丝的叉尖，判断灯丝叉尖是否位于栅极孔的中心，如果不在中心，则利用螺丝起子，穿过与对中圈的第二螺丝位置对应的栅极帽圆筒的筒壁上的孔洞，调整对中圈的四个第二螺丝，为灯丝的叉尖对中；（7）用专用工具往栅极帽开口端方向回调调节圈约1圈，让灯丝的叉尖缩回栅极帽朝向灯丝的叉尖的端面距离0.6mm或电镜制造厂建议的距离值。