[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

摘要

本发明涉及一种减压干燥装置及减压干燥方法，所述减压干燥装置包括干燥腔体、溶剂捕获板和支承板，溶剂捕获板和支承板设于干燥腔体内，支承板用于承载和加热待干燥基板，溶剂捕获板与支承板相对设置且能够转动，溶剂捕获板转动的过程中，支承板在溶剂捕获板所在面上的投影完全位于溶剂捕获板内。本发明利用溶剂捕获板旋转产生的离心作用，将基板中心部分的溶剂蒸汽部分转移到边缘区域，使得原本溶剂蒸汽浓度较高的中心部分浓度降低，原本溶剂蒸汽浓度较低的边缘区域浓度升高，让基板表面的溶剂气氛更加均匀，最终使得基板上的各个区域的成膜更加均匀、平整，能够有效改善减压干燥时的边缘效应。