[发明专利]酸性蚀刻液再生回用系统有效
| 申请号： | 201910383686.X | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110172701B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 李再强;黄文涛;张伟奇 | 申请（专利权）人： | 深圳市祺鑫环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种酸性蚀刻液再生回用系统，所述酸性蚀刻液再生回用系统包括：蚀刻工位，所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶；电解工位，所述电解工位设有电解装置，所述电极装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室，所述阴极室连通于所述废液收集桶；以及再生工位，所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶，所述再生子液调配缸连通于所述阴极室，所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸。本发明的技术方案提升再生液回用率，并且减少再生回用系统中配制再生子液时加入的补加剂量，从而有效地避免了蚀刻液体积膨胀的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 蚀刻 再生 系统 | ||
【主权项】：
1.一种酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，包括：蚀刻工位，所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶；电解工位，所述电解工位设有电解装置，所述电解装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室，所述阴极室连通于所述废液收集桶；以及再生工位，所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶，所述再生子液调配缸连通于所述阴极室，所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸。
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