[发明专利]一种太阳能电池片的刻蚀方法在审

专利信息
申请号: 201910384925.3 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN110289213A 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 郭金城 申请(专利权)人: 江苏格林保尔光伏有限公司
主分类号: H01L21/306 分类号: H01L21/306;H01L31/18
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 谢新萍
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于光伏太阳能电池技术领域,具体涉及一种太阳能电池片的刻蚀方法。通过刻蚀液的配制,并采用自制的铺水膜装置管控具体的水量,能保证水膜的厚度稳定性,从而提供了一种不加入硫酸即可采用湿法刻蚀机RENA8道机对光伏太阳能电池片进行刻蚀的方法。刻蚀液中硝酸用量的增加能够有效地改善背抛,且降低成本;提高刻蚀过程的反应温度,可缩短配液后药液降温时间,且可以降低冷冻机功耗,冷冻机不再需要对药液持续进行降温,药液自动补加有明显的降低。
搜索关键词: 太阳能电池片 刻蚀 刻蚀液 冷冻机 水膜 太阳能电池技术 厚度稳定性 刻蚀过程 湿法刻蚀 硝酸用量 有效地 补加 功耗 管控 光伏 配液 硫酸 配制 自制 保证
【主权项】:
1.一种太阳能电池片的刻蚀方法,其特征在于,所述刻蚀方法的具体步骤如下:步骤1:在湿法刻蚀机(RENA)上料前通过自制的铺水膜装置使硅片表面被去离子水覆盖,并保证所形成的水膜厚度控制在0.8‑1mm;步骤2:调整刻蚀槽内各道滚轮的水平,水平控制误差不超过0.5mm;步骤3:将刻蚀液加入刻蚀槽内;步骤4:将待刻蚀硅片放入刻蚀槽内进行刻蚀。
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